بخشی از پاورپوینت

--- پاورپوینت شامل تصاویر میباشد ----

اسلاید 1 :

بخار فیزیکی فلزات
Physical Vapor Deposition
(PVD)
بخار شیمیایی فلزات
Chemical Vapor Deposition
(CVD)

اسلاید 2 :

روش PVD روشی تمیز و همراه با خلاء خشک است.
در این روش همه جای شیء مورد عملیات قرار می گیرد نه یک جای مشخص.
در این روش اتمی که در فاز گاز قرار دارد جای اتمی که در فاز جامد را دارد می گیرد و مولکول جابه جا شده به فاز جامد باز می گردد.

اسلاید 3 :

سه تکنولوژی اساسی برای PVD وجود دارد:
روکش کاری یونی
تبخیر
کاتد پرانی

اسلاید 4 :

CVD روشی برای تولید محصولات با خلوص و کارایی بالاست.
این روش معمولا در صنایع نیمه هادی ها برای تولید فیلم قلع استفاده می شود.
در این روش ویفر در معرض یک یا چند مواد پشیران سبک قرار می گیرد که با سطح مورد نظر واکنش داده و رسوب مناسب را تولید می کند.
این فرآیند معمولا توسط جریان گاز و در محفظه انجام می شود.
 

اسلاید 5 :

CVD در فرآیندهای ساخت قطعات کوچک به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد.
فرم های مختلف مورد استفاده:
     تک کریستال-پلی کریستال-بی شکل-هم بافت ها
این مواد شامل:
     سیلیسکون-رشته کربن-کربن غیر رشته ای-کربن های غیر لوله ای-SiO2-سیلیکون ژرمانیم-تنگستن-سیلیکون کاربید-سیلیکون نیترید-تیتانیم نیترید-
 

اسلاید 6 :

طبقه بندی بر اساس فشار عملیات
فرآیند در فشار اتمسفر (APCVD)
فرآیند در فشار پایین (LPCVD)
(کاهش فشار باعث کاهش تمایل گاز به تغییر می شود و این موضوع کیفیت کار را بالا می برد.)
فرآیند در خلاء(UHVCVD)
 طبقه بندی بر اساس خصوصیات فیزیکی بخار
AACVD
DLICVD
 
 
 

اسلاید 7 :

 
1-تبخیر و انتقال مولکول های پیشران به راکتور
2-پخش شدن مولکول های پیشران در سطح
3-جذب سطحی مولکول های پیشران
4-واکنش دادن مولکول های پیشران با سطح و یکی شدن با فیلم 
5-واکنش دوباره و بازگشت به فاز گاز

اسلاید 8 :

از روش می توان برای ساخت قطعات توپر و توخالی استفاده کرد.
برای ساخت قطعات خالی می توان از ماده با دمای تبخیر پایین به عنوان پایه استفاده کرد.
سپس با نشان دادن مولکول های فلز مورد نظر روی سطح پایه،قطعه مورد نظر را تولید کرد.
با حرارت دادن قطعه می توان ماد پایه را ذوب کرد.

اسلاید 9 :

به روش بخار فلزات نیز می توان قطعات توپر ساخت.
با ساخت پایه مرکزی می توان بخار فلز مورد نظر را روی آن قرار داد.
از روش بخار فلزات نیز می توان برای عملیات حرارتی و مهندسی سطح نیز استفاده کرد.
روش های رایج برای بخار فلزات:
Electron Beam
Plasma

 

در متن اصلی پاورپوینت به هم ریختگی وجود ندارد. برای مطالعه بیشتر پاورپوینت آن را خریداری کنید