بخشی از پاورپوینت
--- پاورپوینت شامل تصاویر میباشد ----
اسلاید 1 :
- 1-تاریخچه
- 2-MBE چیست؟
- 3-کاربرد
اسلاید 2 :
- 1- سلولهای تبخیر effusion cells
- 2- کانال های نیتروژن مایع
- 3- زیرسازه
- 4- روشهای آنالیزوتحلیل
- RHEED , RGA
- 5- محفظه خلاء و پمپهای خلاء
اسلاید 3 :
- ازمهمترین اجزا
- تحمل
- دمای 1400 درجه سانتیگراد
- نرخ جریان ماده باهندسه سلول و
- فشار بخار ماده معین میشود.
- سلول های laugmuit
- اجزا : 1- کوره 2- فیلمان 3-محافظ انتقال حرارت
- 4- ترموکوپل 5- شاتر مکانیکی shutter
اسلاید 4 :
- محفظه رشد وسلولهای تبخیر را دربر میگیرد.
- سلولهای رشد را از همدیگر ایزوله میکند.
اسلاید 5 :
- به منظور رشد یکنواخت لایه پیوسته در حال چرخش میباشد.
- Heater
- یک gauge برای اندازه گیری نرخ جریان
- Mass spectrometry برای اندازه گیری سطح ونسبت ترکیبات درون محفظه رشد.
اسلاید 6 :
- در عمل خلا10 -12 Torr -10-11
- گازباقیمانده عمدتا H2 است.
- محفظه از فولاد زنگ نزن .
- تحمل دما تا 200 درجه درمدت زمان طولانی
اسلاید 7 :
- Ion pumps
- Cryo pumps
- Diffusion pumps or turbo molecular pumps
- Titanium sublimation pumping
اسلاید 8 :
- MBE روشی زمان بر و گران ولی دقیق وبا کیفیت خلوص بالا میباشد.
اسلاید 9 :
1-Basic of molecular beam epitaxy, fernando rinaldi ,annual report 2002, university of ulm
2-nano-ir.mht
.htmانجمن نواندیشان ایران 3-
4<a href="http://www.explainthatstuff.com/molecular-beam-epitaxy-introduction.html">How molecular beam epitaxy works</a>