بخشی از مقاله
چکیده – بازده انباشت فیلم هاي نازك MgF2 بر روي بستره هاي شیشه اي یک سیگمنت کروي به کمک شبیه سازي کامپیوتري مورد مطالعه قرار گرفته است. انباشت لایه هاي نازك MgF2 که به عنوان لایه هاي ضد بازتابی استفاده می شود، با عواملی چون آهنگ تبخیر، دماي بستره ها و شرایط هندسی حاکم بر سیستم لایه نشانی بشدت تغییر می کند.در این کارابتدا فرآیند انباشت این لایه ها شبیه سازي شده، توزیع ضخامت محاسبه شده با نتایج تجربی، مقایسه گردیده و نهیتاً عوامل مؤثر بر یکنواختی ضخامت به کمک این شبیه سازي تعیین گردیده است.
-1 مقدمه
فیلم هاي نازك MgF2 با ضرایب شکست پایین - 1,38 - در ابزار اپتیکی زیادي نظیر لنزهاي دوربین، دوربین هاي دو چشمی و تلسکوپ ها به عنوان لایه هاي ضد بازتابی مورد استفاده قرار می گیرند. در فرآیندهاي مختلف لایه نشانی نظیر تبخیر حرارتی، به علت شرایط هندسی سیستم و همچنین محدودیت هاي موجود در تبخیر این گونه مواد که به شکل تبخیر به کمک مقاومت گرمایی انجام می شود، کنترل ضخامت لایه ها براي دستیابی به فیلم هایی با بازده بالا همیشه مورد توجه بوده است.
در تبخیر از چشمه هاي گسترده توزیع کسینوسی ضخامت،خود را به شکل توزیع هاي فوق کسینوسی یا زیر کسینوسی نشان می دهد2]و.[1 حل عددي انتگرال توزیع کمک می کند تا این میزان انحراف را مشخص کنیم. پس از آن می توانیم به کمک نمودارهاي تجربی حاصل از طیف سنجی که به کمک دستگاه اسپکتروفوتومتري انجام می شود عواملی که در یکنواختی ضخامت نقش دارند را پیدا کرده نهایتاًو با ایجاد اصلاحات هندسی نظیر بهینه سازي موقعیت چشمه ها، لایه هایی یکنواخت تر به دست آورد.
-4 نتیجه گیري
با توجه به نتایج حاصل از محاسبات و مقایسه آنها با نتایج تجربی نتیجه می گیریم که اگر سیگمنت در موقعیت z = 700mm قرار گیرد و مقدار m=1.019 آنگاه انحراف میان تجربه و محاسبه تنها به اندازهی 0,03 درصد خواهد بود. براي بهتر کردن این نتیجه می توان از حفاظ هاي مکانیکی استفاده کرد و با این کار بازده تولید لایه هاي یکنواخت MgF2 را بالا برد. براي رفع این مشکل،توزیع ضخامت لایه انباشت شده در این سه موقعیت مختلف با روش هاي عددي شبیه سازي شده است. با توجه به رابطه 2 و نتایج شبیه سازي، پارامتر m برابر با 1,019 بدست آمد که بهترین جور سازي را نشان می دهد.
