بخشی از مقاله
چکیده
در این مطالعه, فاز دستگاه پلاسما فوکوس با انرژيفزقل فکیلوژول براي لایه نشانی تیتانیوم آلومینیوم نیتراید - TiAlN - درفدمايفاتاق بر روي زیرلایه استیل ضد زنگ ذلمAISIzq استفاده شده استچ آندفدستگاه پلاسما فوکوس از جنس تیتانیوم و آلومینیوم - Ti,Al - می باشد,فمخلوط گازهايفنیتروژن و آرگون - N2 + Ar - به عنوان گاز کاري براي لایه نشانی تیتانیومفآلومینیوم نیتراید مورد استفادهفقرار گرفتچفلایه هاي نازك تیتانیوم آلومینیوم نیتراید با تعداد شات هايفمتفاوت تحت زاویهفصفر درجه نسبت به محور آند و در فاصله ز فسانتی متري از بالاي آند لایه نشانی شدندچ نمونه هايفلایه نشانیفشده بهفمنظورفبررسی ساختار توسطف طیف پراش اشعهفایکس , - XRD - مورفولوژي سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی - , - SEM توزیع پراکندگی ذرات بوسیلهفmapping , اندازه گیريفضخامت میانگین و اندازه دانه ها بوسیله آنالیز میکروسکوپ نیروي اتمی - - AFM مورد بررسی قرار گرفتندچ نتایج پراشفاشعه ایکس رشد لایه هايفنازك TiAlN روي استیل زنگ نزن رافنشانفدادچ فنتایجف میکروسکوپفالکترونی نشانفمی دهدفکهفافزایش تعدادفشاتفهافباعث نهشتفمواد بیشتر در رويفزیرلایهفشدهفو اندازهفنانوذرات افزایش یافته استچفبافتوجه بهفتصاویر میکروسکوپفنیروي اتمیفبافافزایش تعدادفشات هاآفاندازه دانهفها و ضخامت میانگین سطحفافزایشفمی یابد.
کلمات کلیدي : تیتانیوم آلومینیوم نیتراید , پلاسما فوکوس ,لایه هاي نازك , AFM , XRD , SEM
مقدمه
تیتانیوم آلومینیوم نیترایدل ماده دیرگداز و فوق العاده سختی استفکه به خاطر خواص فیزیکی و شیمیایی ازفجملهفپایداري در دماي بالا وف مقاومت در برابر خوردگی به طور گسترده به عنوان پوشش در دماي بالا بکار برده می شودچ تیتانیوم آلومینیوم نیتراید یک ماده غیر سمی است بطوري کهفسازگاري خوبی با بدن انسان داردچفبه همین دلیل از این ماده برايفساخت وسایل پزشکی و به عنوان اتصال دهنده بین دو مفصل درفپزشکی استفاده میفشودچفهمچنین این ماده کاربردهاي زیادي در صنایع حمل و نقل ,فنظامی ,ابزار برش وفمته سوراخکاري دارد]ل[چ تیتانیوم آلومینیوم نیتراید جزءفمواد سخت نیمه پایدار است که از عناصر فلزي تیتانیوم و آلومینیوم تشکیل شده است و نسبت به تیتانیوم نیتراید داري مزیت هاي زیر می باشد لژ مقاومت اکسید شدن در دماهاي بالا به دلیل تشکیل یک لایه محافظ اکسید آلومینیوم درفسطح - ٩٠٠ - ٨٠٠ - هژ افزایش سختی آن نسبت به تیتانیوم نیترایدفپفزمنحمفگیگاپاسکال ژمژ رسانندگی الکتریکی و حرارتی کمتر نسبت به تیتانیوم نیتراید ]منل[ساختار پوشش هاي TiAlN به شدت وابسته به پارامترهاي لایه نشانی به خصوص نسبت ,Ti/Al قدرت تخلیه, گاز کاري و دماي زیرلایه داردچ در تمرکز بالاي Ti نسبت به Al ساختار TiAlN به صورت بلوري FCC پفاز نوع لB ساختار مانند نمک طعام ژفمی باشد و در نسبت بالاي Al در تشکیل آلیاژف,فساختار شبکه بهفساختار ورتزیتهففتبدیل می شود شکلفپل - چ
