بخشی از مقاله
چکیده
معمولا لایههاي نازك اپتیکی که با روشهاي فیزیکی تولید می شوند کاملا همگن نیستند. به عبارت دیگر چگالی لایه ثابت نیست. اگر ناهمگنی زیاد باشد نمیتوان از آن صرفنظر کرد. در این تحقیق یک نمونه لایه نازك همگن منیزیم فلوراید MgF2 و یک نمونه ناهمگن با روش انباشت بخار فیزیکی تولید شده اند. نشان داده شده است که هر لایه ناهمگن را میتوان معادل دو لایه همگن در نظر گرفت. ضریب شکست و ضخامت دو لایه مزبور طوري انتخاب شدند که طیف بازتاب حاصل از آنها بر طیف بازتاب تک لایه منطبق باشد.
-2 جزئیات تجربی
طرحوار دستگاه به کار رفته براي تولید لایه منیزیم فلوراید درشکل-2، نشان داده شده است. ماده MgF2 به شکل گرانل در بوته تفنگ الکترونی قرار داده شده و تبخیر میشود. توان باریکه الکترون 160 وات - ولتاژ 8k کیلو وات و جریان 20mA است - . ضخامت لایه با یک ضخامت سنج کریستالی اندازهگیري میشود. زیر لایهها توسط استن وآب مقطر شسته شده و داخل چمبر قرار داده میشوند. اگر شرایط لایه نشانی یعنی فشار، دما نرخ انباشت1 و ... در طول مدت زمانی که لایه تشکیل میشود ثابت باشد لایه تشکیل شده همگن خواهد شد. ما عمداً نرخ انباشت را تغییر دادهایم تا یک نمونه لایه ناهمگن حاصل شود.
400 - 875 nm نشان داده شده است - منحنی قرمز رنگ - . منحنی آبی رنگ طیف بازتاب یک نمونه شبیه سازي شده است که به کمک معادله - 2 - توسط نرم افزار ادي2 محاسبه شده است. شکل-: 3 طیف بازتاب یک نمونه لایه MgF2 با ضخامت d 350nm بر روي شیشه - منحنی قرمز رنگ - و طیف محاسبه شده - منحنی آبی رنگ - . ضخامت این نمونه فرضی نیز تقریبا 350 nm است. منحنی آبی رنگ که از معادله - 2 - بدست آمده است یک لایه کاملا همگن را نمایش میدهد. منحنی اندازه گیري شده قرمز رنگ بر منحنی محاسبه شده آبی رنگ منطبق است. بنابراین لایه متناظر با منحنی قرمز رنگ نیز یک لایه همگن است. تغییرات ضریب شکست با طول موج، مطابق با رابطه پاشندگی کوشی3 در نظر گرفته شده است[3]
