بخشی از پاورپوینت
--- پاورپوینت شامل تصاویر میباشد ----
اسلاید 1 :
تاریخچه
*فرضیه دوبروی مبنی بر خاصیت موجی الکترون 1923
1932 Knoll & Ruska *ساخت اولین میکروسکوپ الکترونی توسط
1938 Von Ardenne توسط SEM*ساخت اولین
1965 Cambridge تجاری توسط SEM *ساخت نخستین
¨
اسلاید 2 :
مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی
*در ميكروسكوپ نوري شايد بتوان با تغيير انحناي (تقعر و تحدب) سطح عدسي‌ها و تعداد آنها بزگنمائي تصاوير را به هر مقدار زياد كرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاوير در بزرگنمائي‌هاي بالاي 2000 وضوح خود را از دست
*در ميكروسكوپ الكتروني به جاي نور از شعاع الكتروني استفاده مي‌شود. چون طول موج الكترون بسيار كوتاه است ميتوان در ميكروسكوپهاي الكتروني بزرگنمائي تصاوير را بسيار بالا برد (تا حد يك ميليون برابر در بعضي از ميكروسكوپهاي الكتروني و يا بيشتر)
*الكترون بر خلاف نور نميتواند به آساني در هوا حركت كند، در نتيجه بايد در مسير حركت الكترون و محفظه نمونه خلأ بسيار قوي ايجاد كرد
اسلاید 3 :
SEMبخش های مهم
تفنگ الکترونی
عدسی ها
دهانه ها
سیم پیچ های روبشی
سیستم ایجاد خلا
محفظه نمونه
نمایشگر
اسلاید 4 :
SEMبخش های مهم
تفنگ الکترونی
عدسی ها
دهانه ها
سیم پیچ های روبشی
سیستم ایجاد خلا
محفظه نمونه
نمایشگر
اسلاید 5 :
عدسی ها
1- عدسی های چگالنده
*باریکه الکترونی را همگرا می کنند
2- عدسی شیئی
*عمل کانونی نمودن باریکه روی نمونه را
انجام می دهند
*در بزرگنمایی نقش دارند
ماهیت این عدسی ها الکترومغناطیسی است
اسلاید 6 :
دهانه ها
در هر میکروسکوپ معمولا یک یا چند دهانه مورداستفاده قرار می گیرد
کار دهانه حذف یا به حداقل رساندن الکترون های اضافی است
سیم پیچ های روبشی
سبب حرکت باریکه الکترونی بر روی نمونه می شود
اسلاید 7 :
سیستم ایجاد خلا
مهمترین دلایل نیاز میکروسکوپ الکترونی روبشی به خلا:
1- الکترون ها به راحتی توسط مولکول های گاز پراکنده شده به 15(انرژی) الکترونها فقط Kev حدی که در شرایط فاقد خلا، با
حدود 10 سانتی متر امکان نفوذ پیدا می کنند
2- خلا از اکسیداسیون نمونه ها جلوگیری می کند
3- در نبود خلا سطح نمونه آلوده می شود
اسلاید 8 :
پمپ های خلا مورد استفاده
پمپ های خلا که معمولا در میکروسکوپ الکترونی مورد استفاده قرار می گیرند عبارتند از:
پمپ توربو، پمپ دورانی، پمپ دیفیوژن،
پمپ روغنی، پمپ یونی و . . .
اسلاید 9 :
پمپ دورانی
*معمولا حجیم
*ارزان قیمت
*یک مرحله ای و
دو مرحله ای
اسلاید 10 :
پمپ توربو مولکولار
* با سرعت چرخش بیش از 2000 دور بر دقیقه
* محیط پاک و خالی از روغن
Torr 10-8*خلا تا
